Mikrosystemtechnik und Optosensorik

Prof. Dr. B. Voigt

Kurzinhalt

Vorlesung:
> Die Inhalte sind abgestimmt auf die industriellen Anforderungen der Medizin-technik, Automatisierungstechnik und Kraftfahrzeugtechnik. Traditionell kommen viele Themen der anspruchsvollen Sensorik aber auch aus Raumfahrt- und Rüstungsapplikationen.
> Mikromechanik und Piezoresistiver Drucksensor: Mikromechanische Formgebung von Silizium, Ätzverfahren, Verbindungsverfahren, Medien-verträglichkeit, Piezoresistiver Effekt, Membran und Dehnung, Gehäusetechnik, Qualitätsmerkmale, Temperaturkompensation, Sensorelektronik, Analoge Fehlerkorrektur, Rechnergestützte mehrdimensionale Interpolation.
> Optosensorik: Ausbreitung von elektromagnetischer Strahlung, Photoeffekt, Photoempfänger, Photodiode, Photomultiplier, Photowiderstand, APD, Phototransistor, Rauschen, NEP, Leuchtdioden, Brechung, Geometrische Optik, Spiegel, Linsen, Normalschema, Schwarzer Strahler, Raumwinkel, Strahlstärke, Strahldichte, Lambert-Strahler, Spektroskopie, Korrelationsverfahren.
> Sensorsysteme: Reifendruckkontrolle, Spektroskopie, Ortungssysteme